Tehnoloogia edendamisel on elektroonilisel töötleval tööstusel üha rangemad nõuded materiaalse puhtuse kohta. Ükskõik, kas tegemist on pooljuhtide, lameekraanide või muude kõrgete - tehniliste elektrooniliste toodete, võivad jälje lisandid tõsiselt mõjutada toote jõudlust ja usaldusväärsust. Nende lisandite eemaldamiseks oluliseks seadmeks mängib puhastaja asendamatut rolli kõrge - puhtuse gaaside kasutamise tagamisel tootmisprotsessis. See artikkel selgitab üksikasjalikult puhastajate rolli elektroonilises tootmises ja näitab nende olulisust konkreetsete andmete kaudu.
Puhastajate aluspõhimõtted ja funktsioonid
Puhastaja eemaldab gaasi lisandid adsorptsiooni, filtreerimise, keemiliste reaktsioonide jms kaudu, sealhulgas niiskuse, hapniku, süsivesinike ja muude pisikeste osakeste kaudu. Erinevate rakenduse stsenaariumide kohaselt saab puhastajad jagada erinevat tüüpi, näiteks katalüütilise põlemise tüüp, adsorptsiooni tüüp, madal - temperatuuri eraldamise tüüp jne. Nende hulgas kasutatakse süsinikmonooksiidi ja vesiniku eemaldamiseks sageli katalüütilisi põlemispuhaseid, samas kui adsorptsiooni tüüp on niiskuse ja muu muutliku organiseerimise korral hea.
Rakendus pooljuhtide tootmises
Pooljuhtide tootmisprotsess on äärmiselt keeruline ja keskkonnatingimuste suhtes äärmiselt tundlik. Isegi üks - osa PPB lisandite osaliselt võib põhjustada transistori rikke või vooluringi lühise. Seetõttu on ülioluline protsessigaaside säilitamine ultra - kõrge puhtusega. Uuringud on näidanud, et MOCVD metalli orgaanilise keemilise aurude sadestamise protsessis, kui sisendgaas sisaldab enam kui 50 ppb hapnikku, väheneb epitaksiaalse kihi mass märkimisväärselt, mille tulemuseks on seadme efektiivsuse vähenemine umbes 10%-20%.
Lisaks, kui tegemist on täiustatud protsessisõlmedega, näiteks 7nm või isegi väiksemate suurustega, on gaasipuhuse nõuded jõudnud enneolematute kõrgusteni. Kaevu - teadaoleva pooljuhtide tootja sõnul suurenes vahvli saagis umbes 3% - 5% pärast puhastatud gaaside kasutamist, mis tähendab tohutut majanduslikku kasu suuremahulise tootmise jaoks.
Lameekivide väljapanekutööstuse sõltuvus
Lisaks pooljuhtide tööstusele on lameekraani tööstus ka valdkond, mis sõltub suuresti kõrge -} puhtuse gaaside pakkumisest. Eriti OLED (orgaanilise valguse kiirgavate dioodi) ekraanide tootmisprotsessis mõjutab väike reostus pikslipunktide värvi ühtlust ja heleduse stabiilsust. OLED-i tootmisliinide uuring näitab, et kõrge - efektiivsuse gaasipuhastussüsteemide tutvustamisega saab gaasi lisandite põhjustatud kuvarühmade esinemissageduse tõhusalt vähendada, 10–15 defektilt miljoni tooteühiku kohta vähem kui 5.
Tegelikult ei paranda see mitte ainult toote kvaliteeti, vaid vähendab ka ümbertöötlemiskulusid ja suurendab turu konkurentsivõimet. Kõrge - nutitelefoni ja tahvelarvutite tootjate jaoks tähendab see tarbijatele selgemaid ja täpsemaid värve.
Asjakohaste andmete toetamise tähtsus
Puhastaja eeliste kvantifitseerimiseks vaatame konkreetsete andmete komplekti: Oletame, et suur elektroonikavabrik toodab 100 000 vahvlit kuus. Enne puhastusvahendi kasutamist on gaasi lisandite põhjustatud jäätmemäär 3%, see tähendab, et 3000 vahvlit muutub raiskamiseks kuus; Pärast puhastaja kasutuselevõttu langeb jäätmemäär 1%-ni, mis ainuüksi võib säästa miljoneid dollareid aastas.
LCD (vedelkristallide väljapanekute) tootmisel, kui üks ühest tükist igast tuhandest paneelist põhjustab defekte gaasi lisandite tõttu, võib puhtuse ühe protsendipunkti suurenemine teoreetiliselt vähendada sadade tuhandete jüaanide majanduslikku kaotust.
Puhastajatel on elektroonikatööstuses ülioluline roll. See mitte ainult ei aita parandada toote kvaliteeti ja vähendada jäätmemäära, vaid toob ka olulist majanduslikku kasu. Elektrooniliste toodete pideva arengu ja tehnoloogiliste arengute korral suureneb nõudlus kõrge - puhtuse gaaside järele ainult ja ka puhastustehnoloogia arendamine kiireneb. Tulevikus võime oodata uuenduslikumaid puhastuslahendusi, mis edendavad veelgi kogu elektroonilise töötleva tööstuse arengut.
