Elektroonika-klassi krüogeenne õhueraldusseade

Elektroonika-klassi krüogeenne õhueraldusseade

See seade varustab kõrge -puhtusastmega O₂, N₂ ja Ar (gaas/vedelik) pooljuhtide, fotogalvaanika ja elektrooniliste kemikaalide jaoks. Põhikonstruktsioon: püsiolekus-rektifikatsioon ja lisandite jälgede eemaldamine elektroonika-kvaliteediga krüogeenses õhueraldusseadmes, mis tagab, et toitegaas vastab rangetele tööstusharu kehtestatud süsivesinike, CO₂, niiskuse ja muude saasteainete piirangutele.
Küsi pakkumist
Räägime nüüd
Toote tutvustus

See seade on ette nähtud kõrge-puhtusega gaasilise/vedela hapniku, lämmastiku ja argooni varustamiseks pooljuhtide tootmiseks, fotogalvaaniliste elementide tootmiseks ja elektroonikakeemia tootmiseks. Selle konstruktsiooni tuum seisneb elektroonika-klassi krüogeense õhueraldusseadme püsivas-seisundis rektifikatsiooni juhtimises ja lisandite jälgede eemaldamises, mis tagab, et toitegaas vastab elektroonikatööstuse kehtestatud rangetele süsivesinike, CO₂, niiskuse ja muu saastesisalduse piirväärtustele.

 

Põhiprintsiip

Protsess järgib vastupidist Braytoni tsüklit. Eelpuhastatud õhk jahutatakse sügavalt umbes –170 kuni –196 kraadini, seejärel allutatakse mitmele rektifikatsioonietapile struktureeritud tihenduskolonnides, kasutades ära hapniku, lämmastiku ja argooni keemistemperatuuri -temperatuuri erinevusi. Kõrge täpsusega-reguleerventiilide ja õhukondensaatori soojusvõimsuse koordineeritud juhtimisega stabiliseeritakse toote puhtus elektroonilisel{7}}tasemel. Süsteem integreerib molekulaarse -sõeladsorptsiooniga eelpuhastuse, turbo-paisutaja jahutuse ja külmakarbi isolatsiooni, mis võimaldab elektroonika-klassi krüogeensel õhueraldusseadmel töötada pika aja jooksul madala energiatarbimisega.

 

Tehnilised parameetrid (tüüpiline disainivahemik)

Parameeter Vahemik / väärtus
Toote puhtus O₂ 99,6% või suurem (elektrooniline klass); N2 väiksem või võrdne 1 ppm O2; Ar suurem või võrdne 99,999%
Voolukiirus (Nm³/h) 500–10 000 (saadaval on modulaarne kombinatsioon)
Külma-kasti väljalasketemperatuur –178 kraadi kuni –192 kraadi (kohandatud iga toote kohta)
Energia eritarbimine (kWh/Nm³ O₂) 0,38–0,52 (koos kompressori- ja külmakadudega)
Külm-käivitusaeg Vähem kui 6 tundi või sellega võrdne
Aastased töötunnid Suurem või võrdne 8000

Voolukiirus ja puhtus on pöördvõrdelises seoses; lõplik sobitamine põhineb sööda{0}}õhu koostisel ja kasutaja rõhunõuetel.

 

Temperatuurivahemik ja energiatõhusus

  • Põhisoojusvaheti klemmi temperatuuride erinevus: alla 3 kraadi või sellega võrdne täiskoormuse vahemikus.
  • Alumise kolonni põhja temperatuur: –170 kraadi kuni –175 kraadi; ülemise kolonni ülatemperatuur: –192 kraadi kuni –196 kraadi.
  • Üldine energiatarbimine on ligikaudu 12–18% madalam kui tavalistel-industriaalsetel seadmetel, mis on peamiselt tingitud suure-tõhususega turbo-paisutajast ja kolonni -rõhu langusest. Külmakadu hoitakse alla 5% kogu külmutusvõimsusest, mis on eriti kasulik kõrgete elektrikuludega piirkondades.

 

Põhikomponendid ja kasutusiga

  • Peamine kondensaator: 5052 alumiiniumsulam või 304L roostevaba teras (pingekorrosioonikindel).
  • Pakend: kõrge{0}}efektiivne lainepapist struktureeritud pakend, mille eripindala on suurem või võrdne 500 m²/m³.
  • Molekulaarsõel: 13X-APG klass, kavandatud kasutusiga Rohkem kui 6 aastat.

 

Tööstuslikud rakendused

See üksus teenindab integraallülitusplaate, lamepaneelide{0}}ekraanide tehaseid, fotogalvaaniliste valuplokkide tõmbamise operatsioone, optiliste kiudude eelvormide tootmist ja spetsiaalseid gaasitanklaid, pakkudes kohapeal-gaasi tootmist või torujuhtmega varustamist. See talub etteande-õhurõhu ja ümbritseva õhu temperatuuri kõikumisi ning võimaldab kiiresti muuta koormust (30% kuni 110%). Toetus välisele vedelikutankeri transpordile on välistatud, vähendades logistika käigus saastumise riske.

 

Ohutus- ja juhtimissüsteem

  • Integreeritud DCS koos eraldi ohutusinstrumentide süsteemiga (SIS) süsivesinike ja kastepunkti pidevaks jälgimiseks.
  • Sisseehitatud-atsetüleeni analüsaator vedela hapniku jaoks, automaatse väljapuhumise-ja hädaseiskamise loogikaga.
  • Külm-karbi rõngas, mis on täidetud perliidiga ja kaitstud lämmastikukattega.

 

Hooldus ja moodulpaigutus

Lükandus{0}}kinnitatud peamine külmkast on paigutatud eraldi eelpuhastussektsioonist-, et lühendada-kohal püstitamise aega. Kõik instrumendi ühendused on varustatud kahe plokkventiiliga, et hõlbustada võrgukalibreerimist. Kaugdiagnostika liidesed on ette nähtud tööparameetrite jälgimiseks ja ennetava hoolduse hoiatusteadete jaoks.

 

Valik ja täiendav konfiguratsioon

Süsteemi määratlemisel täpsustage sööda-õhurõhk, sihttoodete tüübid ja puhtusastmed ning igapäevased koormusprofiilid. Kui on vaja kõrge -puhtusastmega argooni või ülimalt -kõrge-lämmastikku (vähem kui 0,1 ppm O₂ või sellega võrdne), võib lisada deoksüdatsioonikolonni või täiendava adsorptsioonipuhastuse etapi. Soovitav on reserveerida ruumi tulevaseks võimsuse suurendamiseks.

 

Shenger Gas on spetsialiseerunud krüogeense eraldamise tehnoloogiale. Elektroonika-klassi krüogeenne õhueraldusseade on konfigureeritud standardiseeritud disainiteegi alusel, mis võimaldab protsesside kiiret vastavusseviimist kasutaja-määratletud voolu- ja puhtusnõuetega. Mehaanilise terviklikkuse ja termilise tasakaalu säilitamiseks võetakse kasutusele projekti-spetsiifiline külma-kasti torustiku paigutus. Tehnilised kokkuvõtted energiatarbimise, jalajälje ja investeeringunäitajate kohta on saadaval töötingimuste esitamisel.

 

 

01

02

03

04

05

06

Kuum tags: elektroonika-klassi krüogeense õhueraldusseade, Hiina elektroonika-klassi krüogeense õhueraldusseadme tootjad, tarnijad, tehas

Küsi pakkumist

Kodu

Telefoni

E-posti

Küsitlus